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加速度傳感器的敏感芯體都有哪些結構?


加速度傳感器是一款能夠測量加速度的傳感器,這款傳感器可以幫助產品時刻了解所處的環境,并且十分準確,那它的敏感芯體一般都有哪些結構呢?下面就讓我們來了解一下吧。

加速度傳感器

1.壓縮形式:壓電材料受到壓縮或拉力產生電荷的結構形式。壓敏芯是加速度傳感器最傳統的結構。本實用新型制造簡單方便,可產生較高的自振諧振頻率和較寬的頻率測量范圍,最大的缺點是無法有效消除各種干擾對測量信號的影響。

2.剪切形式:通過向壓電材料施加剪切力而產生電荷的結構形式。理論上,壓電材料在剪切力作用下產生的電荷信號受外界干擾的影響很小,因此剪切結構是最適合的加速度傳感器核心。然而,在實際制造過程中,保證剪切敏感鐵心加速度計具有高穩定的頻率測量范圍是傳感器制造過程中最困難的環節。為了獲得較高的參數指標,只有進口記憶金屬材料的緊固件才能保證傳感器具有穩定可靠的諧振頻率和頻率測量范圍。

3.彎曲變形高粱形態:壓電材料受彎曲變形產生電荷的結構形式。彎曲變形高粱結構能產生較大的電荷輸出信號,易于實現控制阻尼,但由于其測量頻率范圍低,且不能排除由于溫度變化容易產生的信號漂移,因此在壓電加速度計的設計中很少采用這種結構。

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